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オゾン水分解装置 ORシリーズ

オゾン水は近年、その強力な酸化力を利用し、半導体工場及び液晶工場において洗浄用水として 多く使用されております。しかし、使用後の有害なオゾン水は低濃度であっても人体に有害であり 、配管中のパッキン等を劣化させるなど設備への負担も大きいため、速やかな分解が必要になります。ORシリーズは高濃度オゾン水を短時間で1ppm以下に分解することが出来ます。

オゾン水分解装置

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